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微納制造技術有什么作用

文章出處:未知 責任編輯:admin 閱讀量: 發表時間:2021-02-20 14:14
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微納米技術依賴于微納米尺度的器件和功能結構。功能性結構微納米化的基礎是微納制造的先進技術。橘河科技小編了解到,在過去50年里,正是微納制造技術的進步推動了集成電路的發展,使得集成電路的集成度每隔18個月就翻番。

微納制造技術有什么作用

現代化的微納制造技術已經可以用方寸大小的芯片制作上億個晶體管。微納制造技術不僅能使集成電路芯片中的晶體管變得更小,而且能使普通機械齒輪傳動系統縮小到肉眼無法觀察到的大小。

微納制造技術能夠制造單電子晶體管,并能用原子控制單個分子。微納制造技術能搭建人類進入微世界的橋梁,是人類認識和利用微世界的工具。所以了解微納制造技術對理解微納技術,以及由微納技術支撐的現代高科技產業具有重要意義。

微納制造技術的分類

微納制造技術指的是將其自身加工成的零件或結構尺寸加工成微米或納米級。微制造技術是一種涵蓋范圍廣泛并在不斷發展的技術。在國際微納米工程年會上,已有60余人總結出微納制造的方法。顯微納米結構和器件的可視化方法多種多樣。本文僅對微納制造技術的發展作一歸納介紹。

平面工藝

基于平面加工的微納制造是一種完全不同于傳統機械加工的加工技術。光刻技術是平面加工的基礎。先有一層感光層,通過顯影,把感光層受或不受輻射的部分留在基材表面,這就是設計的模式。感光層的圖案然后通過材料沉積或腐蝕轉移到基材表面。復雜的微納米結構可以通過多層暴露、腐蝕或沉積而從基材上構建。

這種模式的曝光可以通過光學蒙板投影來實現,或者直接掃描激光束、電子束或離子束來實現。其中化學液濕法腐蝕和各種等離子體干法腐蝕是兩種主要的腐蝕方法。物質沉積技術主要有熱蒸發沉積、化學氣相沉積和電沉積。橘河科技小編認為平面加工是最早發展起來的,也是微納制造技術中應用最廣泛的技術。

 


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