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微納制造技術包含哪些方面?加工對象有哪些?

文章出處:未知 責任編輯:admin 閱讀量: 發表時間:2021-03-30 09:03
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據橙河科技小編了解,微納制造技術是指尺寸為毫米、微米和納米級的零件,以及由這些零件所組成的部件或系統的設計、加工、裝配、集成和應用技術。

微納制造技術包含哪些方面?加工對象有哪些?

常規的“宏”加工工藝已經不能滿足這些“微”機械和“微”系統的高精度制造和裝配加工的要求,必須研究并應用微納制造技術和方法。

微傳感器、微執行機構、微結構與功能微納制造技術是微傳感器制造技術的基本手段和重要基礎。

微加工包括微制造和納制造兩個方面。

微制造工藝

有兩種不同的工藝方式,一種是以半導體制造工藝為基礎的光刻、LIGA、鍵合、封裝等光刻工藝,其工藝方法比較成熟,但普遍存在加工材料單一,加工設備昂貴,只能加工結構簡單的二維或準三維微機械零件,不能加工復雜的三維微機械零件;

二是機械微加工,是指利用機械、專用及其它成形工藝等傳統工藝形成的微加工技術,對三維復雜曲面零件進行加工,其加工材料不受任何限制,包括微磨、微車、微銑、微鉆、微沖、微成形等。

微納制造

微納制造是指具有特定功能的納米尺度結構、器件和系統的制造技術,主要分為兩個方向,一種以微制造為基礎向其制造精度的極限逼近,達到納米加工的能力,另一種采用新物理效應對納米量級進行操控制造,納米制造包括納米壓印技術、刻劃技術、原子操縱技術等。

微納制造的加工對象

微納器件的性能不僅取決于器件的結構,而且還取決于器件的材料。各種材料的加工工藝也不同。

微納米器件與微納制造技術是相互依賴、相互促進的。新的微納米器件推動了微納制造技術的進步,而微納制造技術的進步又將激發新的微納米器件的發展。

目前橙河科技就已經率先實現了微納米級別多種金屬材料立體結構制造工藝,已經可以做到100nm-30μm尺度,并且是無應力加工、立體復雜結構制造,可直接在空氣中制備成型。

當前大多數有關生物成像、SERS、生物醫學、傳感器、探測器等方面的新型科學技術主要采用金屬納米材料。

橙河科技的研發的微納金屬制造技術提供了立體金屬制備工藝進入微納米尺度的新工具和新手段,也是實現眾多核心部件微型化重要的工藝技術之一。

橙河科技小編認為微納制造技術是實現微納米的基礎。這一相關性集中體現在半導體集成電路、生物醫學、航空航天、納米電子學、微系統、生物芯片等方便。是當今高科技發展的熱門領域。


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